HTMS-1000型高低溫方阻測試系統

一、產品介紹：

HTMS-1000型高低溫方阻測試系統是一款用于測量半導體薄膜和薄片的導電性能的測試系統，產品應用范圍廣,能夠滿足導電功能薄膜材料、半導體材料、導電玻璃材料、石墨烯等其它導電材料的測試需求；可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。

一、產品主要特點：

1.產品采用高精度源表設計，測試范圍寬，測量精度高，能夠實現電阻率、電導率的測量

2.控溫范圍廣，可以從室溫到-1000度可控

3.可實現常溫、高溫、恒溫條件的測試，具備I-V、R-T、R-t等測試項目

4.最慢升溫速率不低于10℃/min，且升溫速率從0至升溫速率線性可調；

5.具備加熱故障監視診斷功能，需保證使用過程的安全；

6.支持實時測試結果顯示，帶USB接口，方便數據拷貝與傳輸；

二、產品主要技術參數：

1、控溫范圍；-150 ℃-1000 ℃，精度：-150 ℃-1000 ℃，精度±1 ℃

2、測量范圍：電  阻：1×10-6～1×10-1 Ω   ， 分辨率：1×10-7Ω

電阻率：1×10-7～1×10-2 Ω-mm， 分辨率：1×10-8

3、通道數：4通道

3、 材料尺寸：200mm*5mm*1mm,500mm*5mm*1mm,1000mm*5mm*1mm

4、 四線探針；0.5 mm-0.7mm 

5、夾具：針對不同的樣品可以設計不同的夾具

6、外形尺寸：主   機  1300mm（長）×800 mm（寬）×500mm（高）

7、凈   重：≤60kg