JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)
產(chǎn)品分類(lèi): 探針臺(tái)
JKZC-DN系列探針臺(tái)是我司一款增強(qiáng)型晶圓測(cè)試探針臺(tái),最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)釆 用高剛性顯微鏡龍門(mén)結(jié)構(gòu),顯微鏡可X-Y-Z方向進(jìn)行精密位移調(diào)節(jié)。卡盤(pán)具備上下調(diào)節(jié)功能,可以使探針與 樣品快速分離,提高測(cè)試效率,在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了廣泛運(yùn)用,配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表,可以完 成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測(cè)試/管芯晶圓LED/LCD/太陽(yáng)能電池行業(yè)的測(cè)試。此系列探針臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)1μm以上的Pad電極測(cè)試。
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|產(chǎn)品概要
JKZC-DN系列探針臺(tái)是我司一款增強(qiáng)型晶圓測(cè)試探針臺(tái),最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)釆 用高剛性顯微鏡龍門(mén)結(jié)構(gòu),顯微鏡可X-Y-Z方向進(jìn)行精密位移調(diào)節(jié)。卡盤(pán)具備上下調(diào)節(jié)功能,可以使探針與 樣品快速分離,提高測(cè)試效率,在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了廣泛運(yùn)用,配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表,可以完 成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測(cè)試/管芯晶圓LED/LCD/太陽(yáng)能電池行業(yè)的測(cè)試。此系列探針臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)1μm以上的Pad電極測(cè)試。
|技術(shù)特點(diǎn)
?顯微鏡具備高剛性龍門(mén)支架且搭配氣動(dòng)升降,保證高質(zhì)量的光學(xué)成像;
?卡盤(pán)同時(shí)具備快速和微調(diào)升降,便于樣品和探針快速分離,也可以加載探針卡;
?可升級(jí)性強(qiáng),可升級(jí)卡盤(pán)360度快速移動(dòng),可升級(jí)光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。

詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù) | JKZC-DN4 | JKZC-DN6 | JKZC-DN8 | JKZC-DN12 | |
探針臺(tái)臺(tái)體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機(jī)尺寸(mm) | 580L*480W*620H | 630L*530W*620H | 700L*580W*620H | 800L*650W*620H | |
重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 120kg | |
自適應(yīng)減震系統(tǒng) | 自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì),可有效過(guò)濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾 | ||||
卡盤(pán)大小 | 4",360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) | 6",360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) | 8",360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) | 12",360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) | |
卡盤(pán)XY5S行程 | 4"*4",精度 10um | 6"*6",精度 lOurm | 8"* 8",精度 | 12"*12,精度 10um | |
卡盤(pán)Z軸行程 | 快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米 | ||||
卡盤(pán)材質(zhì) | 不銹鋼鍍金,具備更小的接觸電阻 | ||||
卡盤(pán)吸附方式 | 真空吸附,可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附(適用于薄片) | ||||
背電極測(cè)試功能 | 卡盤(pán)鍍金,電學(xué)獨(dú)立懸空,帶2個(gè)4mm香蕉頭插口,具備背電極功能 | ||||
其它功能 | 帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù),可升級(jí),ChJKZC-UCk360度快速移動(dòng)(選件) | ||||
針座平臺(tái) | 材質(zhì) | U型平臺(tái),Q235鍍第帶接地端子 | |||
大小 | 最多可放置4?6個(gè)探針座 最多可放置8~10個(gè)探針座 | ||||
<span font-size:5.5pt;"="" style="font-size: 12px">■mkZB系統(tǒng) | 顯微鏡類(lèi)型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) | |||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | ||||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門(mén)架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸,精度lum | ||||
CCD成像系統(tǒng) | 2k或者4K相機(jī),幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能 | ||||
探針座 | 種類(lèi) | 絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 | |||
X-Y-Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | ||||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um/2um | ||||
夾具 | 漏電精度 接口形式 | 同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA | |||
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/裸線等接口 | |||||
其它 | 選件 | ChJKZC-UCk360度快速移動(dòng)/屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤(pán)/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | |||
電力需求 | 220V/50HZ | ||||
搭配產(chǎn)品/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

我們經(jīng)過(guò)近10年的發(fā)展,在測(cè)試儀器與探針臺(tái)的搭配方面具備十分 豐富的經(jīng)驗(yàn)。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀方面,我們和是德科技(Keysight)、 泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等知名公司的半導(dǎo)體參數(shù) 分析儀有過(guò)多次搭配經(jīng)驗(yàn),系列型號(hào)有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶(hù)提供半導(dǎo)體參數(shù)分析 儀與探針臺(tái)集成測(cè)試方案和服務(wù)。
搭配產(chǎn)品/矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

依靠與儀器設(shè)備廠商和設(shè)備集成經(jīng)銷(xiāo)商所保持良好的合作關(guān)系,我司 可為用戶(hù)提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等知名公司的 網(wǎng)絡(luò)分析儀和模塊,有 Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、 Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E 等,各系列型號(hào)的矢量網(wǎng)絡(luò) 分析儀和毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀,涵蓋不同測(cè)量頻率范圍、性能和功能,并 為用戶(hù)提供網(wǎng)絡(luò)分析儀與探針臺(tái)集成測(cè)試方案和服務(wù),具備豐富的測(cè) 試經(jīng)驗(yàn)。
搭配產(chǎn)品/其他類(lèi)型源表

在其它類(lèi)型源表方面,比如tek 2450, tek 2600, keysight 2900,普賽斯 S300,鐵電分析儀,各類(lèi)示波器,各類(lèi)電源,頻譜儀等等都有多年的搭 配經(jīng)驗(yàn)。
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- 高溫四探針綜合測(cè)試系統(tǒng)
- 高溫氣敏元件測(cè)量系統(tǒng)
- 高溫超導(dǎo)材料測(cè)試系統(tǒng)
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材料電學(xué)性能測(cè)試儀+
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- 鐵電測(cè)試儀
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- 熱電材料性能測(cè)試儀
- 熱電器件性能測(cè)試儀
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- 高低溫介電測(cè)量?jī)x
- 介電常數(shù)測(cè)量?jī)x
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材料熱學(xué)性能測(cè)試儀+
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- 界面材料熱阻及熱傳導(dǎo)
- 活動(dòng)產(chǎn)品
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- 梯度爐
- 熱膨脹儀
- 雙試件導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)試儀
- PVDF薄膜熱性能測(cè)試
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- 全自動(dòng)材料高溫比熱容
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材料電磁學(xué)性能測(cè)試儀+
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材料制樣設(shè)備+
- 壓電極化裝置
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- 真空封管機(jī)
- 熱壓機(jī)
- 真空手套箱
- 球磨機(jī)
- 管式梯溫爐
- 絲網(wǎng)印刷機(jī)
- 電動(dòng)冷等靜壓機(jī)
- 劃片切割機(jī)型
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航空航天測(cè)試裝置+
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- 電弧燒蝕測(cè)試裝置
- 全溫區(qū)定位高溫梯度爐
- 形狀記憶合金特性測(cè)試系統(tǒng)
- 三維顯微應(yīng)變測(cè)量系統(tǒng)系統(tǒng)
- 高低溫方阻測(cè)試系統(tǒng)
- 復(fù)合材料超低溫拉伸性能測(cè)試儀
- 晶圓均勻加熱裝置
- 變溫焦耳熱閃蒸系統(tǒng)
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材料高溫力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)+
- 氧化鋅避雷器測(cè)試儀校準(zhǔn)裝置
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材料樣品高低溫平臺(tái)+
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- 毛細(xì)管樣品冷熱臺(tái)
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材料電化學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備+
- 柔性材料與器件測(cè)試系統(tǒng)
- 往復(fù)電化學(xué)腐蝕摩擦磨損試驗(yàn)儀
- 材料表面性能綜合試驗(yàn)儀
- 鋰空氣電池測(cè)試箱
- 微電流測(cè)試儀
- 交流法導(dǎo)電材料電阻率測(cè)試儀
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自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)設(shè)備+
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- 多功能薄膜電弱點(diǎn)綜合測(cè)試系統(tǒng)
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- 鐵電測(cè)試儀
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- 生物材料
- 柔性微電子打印機(jī)
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納米材料裝備+
- 壓電阻抗綜合測(cè)試系統(tǒng)
- 質(zhì)子交換膜燃料電池測(cè)系統(tǒng)
- 金屬材料電阻測(cè)試儀
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- 電輸運(yùn)性質(zhì)測(cè)量系統(tǒng)
- 摩擦納米發(fā)電機(jī)測(cè)試系統(tǒng)
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材料光學(xué)儀器+
- 變溫光致發(fā)光光譜(PL)測(cè)試系統(tǒng)
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先進(jìn)材料測(cè)試儀器+
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- 高溫全釩液流電池用雙極板炭氈電阻測(cè)試系統(tǒng)
- 教學(xué)儀器
- 擊穿及耐壓測(cè)試儀
- 磁性測(cè)試
- 絕緣材料測(cè)試
- 壓電陶瓷元件
- 壓電測(cè)試儀
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半導(dǎo)體材料設(shè)備+
- 微流控芯片真空熱壓機(jī)
- 半導(dǎo)體C-V分析儀
- 磁性測(cè)試
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新能源及儲(chǔ)能+
- 固態(tài)電池壓力絕緣模具套裝
- 脈沖電閃蒸反應(yīng)器
- 焦耳加熱裝置
- 超快高溫爐
- 新能源線束高壓測(cè)試系統(tǒng)
- 新能源電池測(cè)試
- 粉末電阻率測(cè)試儀
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計(jì)量檢測(cè)設(shè)備+
- 垂直度 檢查儀
- 小角度檢查儀
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