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MPS-10X型多功能型探針臺

產品分類：探針臺

MPS-10X型多功能型探針臺在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺，探針座，四維調整載片臺（Chuck），真空吸附系統；

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產品詳情

MPS-10X型多功能型探針臺

產品簡介：

在實際得科研生產中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試得探針臺相當昂貴，我司根據客戶市場應用自主研發得這款結構小巧，功能實用，成本較低得簡易式探針臺，

MPS-10X型多功能型探針臺在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺，探針座，四維調整載片臺（Chuck），真空吸附系統；

在實際得科研生產中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試得探針臺相當昂貴，我司根據客戶市場應用自主研發得這款結構小巧，功能實用，成本較低得簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺，探針座，四維調整載片臺（Chuck），真空吸附系統；

主要技術指標：

結構緊湊，功能實用，價格實惠

最大可用于12寸以內樣品測試

兼容高倍率電子顯微鏡，可360°旋轉和微調升降

漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內）

精密絲杠/燕尾傳動結構，線性移動，無回程差設計

應用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

1微米以上電極/PAD使用

模塊化設計，可以根據應用增加和去除相應模塊

技術參數選型：

規格/參數
型號		MPS-4	MPS-6		MPS-8		MPS-12
電力需求		220VC,50-60HZ
樣品臺	尺寸	4寸	6寸		8寸		12寸
	行程	XY行程50mm，Z軸升降60mm，360°旋轉可鎖緊
	移動精度	標配10μm，可升級（5μm，3μm，1μm）
	背電極測試功能	可以引出電極	可以引出電極		可以引出電極		可以引出電極
	定制模塊	可定制位移行程和精度	可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度
探針調整座	XYZ行程	13mm-13mm-13mm
	機械精度	標配10μm，可升級（5μm，3μm，1μm）
	漏電精度	10pA-100fA（配置屏蔽箱）
	安裝方式	直接磁力吸附/可調磁力吸附/真空吸附
	接口形式	香蕉插頭/鱷魚夾/同軸BNC/三同軸BNC
光學成像	放大倍數	7-200倍（最大可升級到720倍）
	CCD像素	500W（可升級200W）
	中心距離	140mm，升降范圍270mm，總高度350mm
	顯示器	8寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個屏幕（可升級大尺寸顯微鏡）
可選附件		加熱卡盤		高低溫卡盤		鍍金卡盤
		隔振支架		積分球測試選件		屏蔽箱
		射頻測試附件		導入光源支架		波長單色可調光纖光源（測光電流）
		顯微鏡調節手動/電動調節裝置		激光切割顯微鏡		轉接頭配件

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