HTRS-1000型高溫半導體材料電阻率測試儀

       HTRS-1000型高溫半導體材料電阻率測試儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試，該系統采用四線電阻法測量原理進行設計開發，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進行測試，可以廣泛用于半導體材料硅（si）、鍺（ge）,化合物半導體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb），三元化合物半導體GaAsAl、GaAsP，固溶體半導體，如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

一、產品特點 

1、設備集成度高，一體化設計，精密測量。

2、1000度的高溫爐膛，耐高溫、抗氧化的測試夾具，測量精準無誤

3、鉑銥合金材料測試探頭，抗氧化，經久耐用。

4、控溫精度達到±0.5℃，溫度、時間曲線直觀

5、常溫、高溫、真空、流動氣氛等多種試驗環境

6、各種樣品均可測試：單樣品塊體測量夾具，針對圓片、方塊、長條等樣品

7、自動保壓，防止擊穿

二、主要技術參數：

溫度范圍：RT-1000℃

升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)

控溫精度：±0.1℃

電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ

電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm

測量環境：惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛

測量方法：四線電阻法，探針法

測試通道：單通道或是雙通道

樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm

電極材料：鉑銥合金電極（耐高溫，抗氧化）

絕緣材料：99氧化鋁陶瓷

數據存儲格式：自動分析數據，可以分類保存，樣品和測量方案結合在一起，生成系統所需的實驗方案，輸出TXT、XLS、BMP等格式文件

數據傳輸：USB

符合標準：ASTM

供電：220V±10%，50Hz

工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃；

工作濕度：+40 ℃ 時，相對濕度高達 95%（無冷凝）

設備尺寸： L360mm*W370mm*H510mm

重量：22kg